射频(RF)MEMS开关的模拟、制备和力学分析

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Autoria(s): 张立宪

Contribuinte(s)	赵亚溥 郝一龙
Data(s)	2003
Identificador	http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/24306 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/8663
Idioma(s)	中文
Palavras-Chave	#固体力学
Tipo	学位论文