MEMS结构阳极键合界面若干问题研究

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Autoria(s): 胡宇群

Contribuinte(s)	赵亚溥
Data(s)	2006
Identificador	http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/23166 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/8094
Idioma(s)	中文
Palavras-Chave	#固体力学
Tipo	学位论文