低能离子束方法制备重掺杂Fe的Si∶Fe固溶体
| Data(s) |
08/08/2004
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| Resumo |
利用质量分离的低能离子束方法 ,以离子能量为 1 0 0 0 e V,剂量为 3× 1 0 1 7cm- 2 ,室温下往 p型 Si(1 1 1 )单晶衬底注入 Fe离子 ,注入的样品在 4 0 0℃真空下进行热处理 .俄歇电子能谱法 (AES)对原位注入样品深度分析表明 Fe离子浅注入到 p型 Si单晶衬底 ,注入深度约为 4 2 nm.X射线衍射法 (XRD)对热处理样品结构分析发现只有 Si衬底的衍射峰 ,没有其他新相 .X射线光电子能谱法 (XPS)对热处理样品表面分析发现 Fe2 p束缚能对应于单质 Fe的峰 ,没有形成 Fe的硅化物 .这些结果表明重掺杂 Fe的 Si∶ Fe固溶体被制备 .电化学 C- V法测量了热处理后样品载流子浓度随深度的分布 ,发现 Fe重掺杂 Si致使 Si的导电类型从 p型转为 n型 ,Si∶ Fe固溶体和 Si衬底形成 pn结 ,具有整流特性 国家自然科学基金 (批准号 :60 1760 0 1和 60 3 90 0 72 ) |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
半导体学报.2004,25(8):967-971 |
| Palavras-Chave | #硅 #铁 #低能离子束 #重掺杂 |
| Tipo |
期刊论文 |
