微机电系统多场耦合仿真分析
| Data(s) |
15/02/2004
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|---|---|
| Resumo |
在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中,微系统数值仿真分析是一个重要研究领域.本文对MEMS 中多种能量场耦合问题的各种数值仿真分析方法进行了综合评述.分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向. 中科院力学研究所LNM资助项目(2003002)．~~ |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
动力学与控制学报.2004,2(1):70-74 |
| Palavras-Chave | #微电子机械系统 #能量场耦合 #计算机辅助设计 |
| Tipo |
期刊论文 |
