微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究
| Data(s) |
30/09/2003
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|---|---|
| Resumo |
采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样。采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜的弹性模量及残余应力,分别为190GPa和87MPa。与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量(186.8±7.5)GPa相符合。 国家重点基础研究发展规划(973)资助项目(G1999033103) |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
微细加工技术.2003(3):66-71 |
| Palavras-Chave | #Ni膜微桥 #MEME技术 #力学特性 |
| Tipo |
期刊论文 |
