亚微米氮化钛膜的纳米压痕和划痕测定
| Data(s) |
19/07/2003
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| Resumo |
采用等离子电弧沉积的方法，分别在GT35和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.5μm的氮化钛(TiN)膜。为了筛选基材，采用纳米压痕和划痕技术，评价膜基界面结合和固体润滑效果。纳米压痕结果，GT35，40CrNiMo和TiN的纳米硬度/弹性模量的典型值分别约为11.5 GPa/330GPa, 6.0 GPa/210GPa, 30GPa/450GPa。纳米划痕结果，GT35有较理想的膜基结合能力；GT35，40CrNiMo，TiN及其有机膜的磨擦系数分别约为0.25，0.45，0.15, 0.10。同40CrNiMo相比，GT35是较为理想的基体材料。纳米压痕和划痕技术能提供丰富的近表面的弹塑性变形、断裂和磨擦等的信息，是评价亚微米薄膜力学性能的有效手段。 国家自然科学基金(10242001和10172086) 中国科学院知识创新工程重要方向资助项目(KJCX2-SW-L2)~~ |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
力学学报.2003,35(4):498-502 |
| Palavras-Chave | #纳米压痕 #纳米划痕 #氮化钛 #微力学性能 #磨擦性能 |
| Tipo |
期刊论文 |
