离子束外延制备GaAs:Gd薄膜


Autoria(s): 宋书林; 陈诺夫; 周剑平; 尹志岗; 李艳丽; 杨少延; 刘志凯
Data(s)

25/06/2004

Resumo

 室温条件下,用低能离子束外延制备了GaAs∶Gd薄膜,X射线衍射(XRD)结果表明除了GaAs衬底峰没有发现其它新相的衍射峰,并借助于高分辨X射线衍射(HR XRD)进一步分析了晶格常数的变化特点。俄歇电子能谱(AES)分析了样品表面的成分,及元素随深度的分布规律,在60nm深处元素的相对含量发生明显改变,运用原子力显微镜(AFM)揭示了样品表面的形貌特点。

国家自然科学基金资助项目(60176001)

国家重大基础研究计划资助项目(G20000365和G2002CB311905)

Identificador

http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/41954

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/6310

Idioma(s)

中文

Fonte

功能材料.2004(3):336-337

Palavras-Chave #GaAs∶Gd薄膜 #低能离子束外延 #GaAs衬底
Tipo

期刊论文