微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量
| Data(s) |
30/12/2004
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| Resumo |
利用MEMS技术制作了不同尺寸的镍(Ni)膜微桥结构样品.采用纳米压痕仪XP系统测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了两种不同尺寸的Ni膜的弹性模量和残余应力.结果表明,两种不同尺寸的Ni膜的弹性模量结果一致,为190 GPa左右,但是残余应力变化较大.与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量186.8±7.5 GPa相比较,两者符合较好. 国家重点基础研究发展规划(973)项目(G1999033103) |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
电子元件与材料.2004(12):13-16 |
| Palavras-Chave | #材料测量与分析技术 #镍膜微桥 #MEMS技术 #弹性模量 #残余应力 |
| Tipo |
期刊论文 |
