微电子机械系统中的残余应力问题

残余应力一直是微系统技术(MTS)发展中一个令人关注的问题，它影响着MEMS器件设计、加 工和封装的全过程。考虑薄膜中残余应力的起源，介绍测量残余应力的主要方法，并就计算薄膜中残余应力的Stoney公式及其推广形式作了详细的讨论，针对微尺度下残余应力对MEMS结构力学行为的影响，例如屈曲和粘附等进行了初步的分析。