离子钨钼共渗的表观过程
| Data(s) |
30/03/2000
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|---|---|
| Resumo |
结果表明,在形成沉积层时,由于离子轰击作用已不存在,使渗层厚度减少26%,用朗谬尔探针对双层辉光离子钨钼共渗过程进行了等离子体的诊断,等离子体对表面成分有较大影响.合理的等离子体密度范围为5×10~(11)～3×10~(12)cm~(-3). |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
材料科学与工艺.2000,8(1): 55-58 |
| Palavras-Chave | #离子轰击 #渗层厚度 #表面成分 #等离子体密度 |
| Tipo |
期刊论文 |
