大流量压阻式流量传感器的研制
| Data(s) |
25/08/2003
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| Resumo |
根据流体力学差压原理 ,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器。测试结果表明 ,该传感器具有测量 0 .1～ 10L/min的气体流量的能力 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
微纳电子技术.2003(Z1): 449-451 |
| Palavras-Chave | #差压 #流量传感器 #微机械加工 #压敏电阻 |
| Tipo |
期刊论文 |
