材料磨损与微电子机械系统中的磨损现象

磨损是材料和机械失效的主要原因之一。介绍了近年来材料磨损性能研究的进展，磨损的几种破坏机制以及相应的磨损理论模型，并介绍了MEMS中磨损研究的现状。