MEMS材料力学性能的测试技术

微电子机械系统（MEMS）技术的迅速崛起，推动了所用材料微尺度力学性能测试技术的发展，首先按作用方式将实验分成压痕／划痕、弯曲、拉伸、扭转四大类，系统介绍检测MEMS材料微尺度力学性能的微型试样、测试方法及其实验结果。测试材料主要有硅、氧化硅、氮化硅和一些金属。实验结果主要包括基本的力学性能参数如弹性模量、残余应力、屈服强度、断裂强度和疲劳强度等。最后，简要分析了未来的发展需求。