ECR等离子体源中基本参数的数值模拟

采用混合模型 求解了ECR等离子体源中的各种物理参量，着重研究了中性气压、微波功率对等离子体参数(如等离子体密度、电子温度、等离子体电势)以及离子能量和方向角分布的影响，并讨论了与之相关的均匀性、方向性等物理问题。