高频感应放电理论与特性计算方法

本文以双渠道模型为基础,考虑气体流动、对流传热、热辐射修正,利用等效温度能量平衡计算法,求出了等离子体放电特性和其他参数,并同现有文献进行了比较,能给出很好结果,而计算大大简化。本文还推导了各种边界条件下的传热计算方程,而对等离子体同振荡器的耦合、匹配、结构参数和运行参数的选择原则,以及实践经验,也作了详尽的讨论和分析。