高频感应放电的理论分析

本文利用拟渠道模型得到简明的分析表达式,求出了放电特性曲线;定义了高频振荡器的输出特性曲线,并作了计算;且由槽路参数将上述两曲线联系起来,定出工作点。为此可预先对任一种气体及高频机判断放电能否维持;可以讨论对工程实践至关重要的阻抗匹配问题以及功率放大规律;并指出π网络适用于氢等离子体而且得到实验证实。