强CO_2激光辐照下离子注入Si反射率的动态干涉效应

本文从理论和实验研究了连续CO_2激光辐照下磷离子注入Si对He-Ne激光束反射率呈现的动态干涉效应。从反射强度随时间的变化看出,Si片离子注入层固相外延的速率在整个再结晶过程中是不均匀的。