扩硼Si在连续CO_2激光辐照后的特性
| Data(s) |
1982
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| Resumo |
本文研究了高温高浓度扩硼Si在连续CO_2激光辐照后表面薄层电阻随激光功率密度和扫描速度的变化.实验发现,一定功率密度和扫描速度的CO_2激光辐照可使扩硼Si的载流子面密度提高到原来的一倍半到三倍左右. |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
半导体学报.1982,3(4):340-342 |
| Palavras-Chave | #连续CO_2激光 #激光辐照 #薄层电阻 #扩硼 #激光功率密度 #辐照后 #激光扫描速度 #电激活 #面密度 |
| Tipo |
期刊论文 |
