等离子体反应器流场、温度场和浓度场的参数研究

文献[3,4]表述了描述等离子CVD化学反应器流场的数学物理模型,并利用Patankar方法对冷热流场作了求解。本文在此基础上就影响反应器流场、温度场和浓度场的有关参数作了理论研究。所研究的问题有:冷热流场的差别,喷射环缝密度和主流旋转速度对流动的影响。所得结果清楚地表明:这些参数的选择对反应器的性能有着不同程度的影响,而有些影响则是本质的。