气体脉冲放电中电子能量分布(EED)的测定方法

本文在作者提出的电探针测定稳态等离子体电子能量分布方法(二阶微分网络法)基础上,结合连续脉冲扫描,实现了对脉冲等离子体探针电流对电压二阶导数曲线的连续测量。每条曲线测定时间20～30μs,测量间隔211μs。此方法可用来测定脉冲放电过程中的电子能量分布及其随时间的变化。本文还提出可用惰性气体亚稳态的Penning 电离来标定EED 曲线的能量关系。