微电子与微机械系统（MEMS）中的现代光学测试技术

介绍了微电子和微电子机械系统（MEMS）中几种常用的变形和形貌测量方法以及相关的测量设备。其中相移云纹干涉技术用于微电子器件的面内位移测量，灵敏度可达到纳米量级。显微栅线投影技术用于MEMS的离面变形和形貌测量，灵敏度可达0.1微米。