材料磨损与MEMS中的磨损现象

　磨损是材料和机械失效的主要原因之一。本文介绍了近年来材料磨损性能研究的进展,磨损的几种破坏机 制以及相应的磨损理论模型,并介绍了MEMS 中磨损研究的现状。