Nano-Hardness Tester and its Application in MEMS

微机电系统(MEMS)技术的迅速崛起,推动了对其所用材料和结构的力学性能研究。简要介绍纳米硬度技术的发展展、理论模型和MTS公司的Nano Indenter XP系统的配置、测量原理及功能。并根据我们的一些研究结果,说明它在微机电系统中的应用。