平顶响应的热光可调谐Fabry-Perot滤波器
| Data(s) |
2004
|
|---|---|
| Resumo |
制作了一种平顶响应的热光可调谐滤波器,通过用湿法腐蚀方法将半波长的共振腔分成具有不同光学厚度的两部分,并且使入射光照射到两部分的面积基本上相等,实现平顶响应特性.对该滤波器的输出响应进行检测,实验结果与理论模拟符合,相对透射率的极大值与极小值间的起伏度小于0.01.与实现平顶响应的其他方法相比,本滤波器器件的制作工艺简单,平顶性能优越,容易与其他有源和无源光子器件集成.还给出了制作几十μm量级的共振腔实现平顶窄带响应的热光可调谐滤波器的机理,其输出响应的起伏度小于0.02,3 dB带宽小于1 nm. 制作了一种平顶响应的热光可调谐滤波器,通过用湿法腐蚀方法将半波长的共振腔分成具有不同光学厚度的两部分,并且使入射光照射到两部分的面积基本上相等,实现平顶响应特性.对该滤波器的输出响应进行检测,实验结果与理论模拟符合,相对透射率的极大值与极小值间的起伏度小于0.01.与实现平顶响应的其他方法相比,本滤波器器件的制作工艺简单,平顶性能优越,容易与其他有源和无源光子器件集成.还给出了制作几十μm量级的共振腔实现平顶窄带响应的热光可调谐滤波器的机理,其输出响应的起伏度小于0.02,3 dB带宽小于1 nm. 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:06:20导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:06:20Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4720.pdf: 308514 bytes, checksum: 5e474f85f8150f50a6252b919544ef05 (MD5) Previous issue date: 2004 国家重点基础研究发展规划973资助项目,863项目,国家自然科学重大基金资助项目 中国科学院半导体研究所 国家重点基础研究发展规划973资助项目,863项目,国家自然科学重大基金资助项目 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
蔡晓;左玉华;王启明.平顶响应的热光可调谐Fabry-Perot滤波器,光电子·激光,2004,15(10):1144-1148 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
