氮化铝基板与Cu和Al的接合及其表面改质效果
Data(s) |
2000
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Resumo |
对AlN陶瓷基板进行了减压直流等离子体喷涂镀Al,在基板表面形成厚度约2μm的金属Al薄层,实现了Al与AlN中的良好接合。 |
Identificador | |
Palavras-Chave | #力学 |
Tipo |
期刊论文 |